专利号：2020108380979

本发明公开了一种固体润滑薄膜的低温制备方法，包括将工件安装在旋转式鼠笼箱中；旋转式鼠笼箱旋转可快速达到硫化物的形成温度；将氢气通入炉内，清理工件；将氩气通入炉内，升高工件温度；温度升至180℃时，将含硫气体通入炉内；停止供入各气体，待消耗完毕后，将电压降低至0V；继续冷却10‑30min后，取出旋转式鼠笼箱及工件，将工件立即进行浸油处理，即在工件的表面制得硫化物固体自润滑薄膜。制备方法应用在离子电渗透工艺和\或离子镀工艺中。本发明提高工件升温速度，优化硫化物的沉积位置；降低固体润滑薄膜的成型温度，提高薄膜的生产效率，从而提高零件在高速、真空等严苛磨损工况下的服役寿命，降低生产成本，提高生产效益。